LIMA-03
LIMA-03 litografi sistemi, yarı iletken ve mikro aygıt üretimi için araştırma ve geliştirme çalışmalarında kullanılması amacıyla düşük maliyetli bir sistemdir.
Uluslararası platformlarda kullanılan cihaz ve ekipmanların çıktıları göz önünde bulundurularak yapılan özgün tasarım ile kullanıcı dostu olması ve düşük altyapı maliyeti gerektirmesiyle birlikte litografi kalitesi en üst düzeyde tutmaktadır.
Lima-03 standart litografi uygulamalarına göre 3 inç wafer boyutundan 10x10mm'lik parça örnek hizalama desenlemesine uygun olarak tasarlanıp üretilmiştir. Mikro boyuta desenleme ile birçok alanda kullanılabilir bir üründür.
LİMA-03 ihitiyaçlara göre çeşitli pozlama seçenekleri ile çalışabilir. Yumuşak- sert ve uzak kontak modları ile ihtiyaç olunan çözünürlükte desenleme yapılmasına olanak sağlar. Lima-03 eski Hg lambalar yerine daha kompakt yapıya sahip UV-LED teknolojini kullanır. Pozlama optikleriyle 80mmx80mm alan içerisinde <%7 homojenite gösterir. Optik eksen 2 dereceden daha küçük açıya sahiptir.
Mikroskop ve Kamera ile hizalama seçenekleri
- Özel tasarlanmış yüksek homojen aydınlatma optik sistemi
- Joystick kullanımıyla yarı otomatik motorize stage
- 10mmx10mm örnek boyutundan 3 inç wafer’a kadar litogafi işlemi
- Elektromekanik WEC sistemi
