Ölçüm · Otomasyon · Raporlama

Uygulamaya özel test sistemleri.

Ölçüm cihazları, sensörler, fikstürler, mekanik ve termal altyapı; LabVIEW tabanlı otomasyonla tek sistem mimarisinde bütünleştirilir.

Sistem yaklaşımı

Test senaryosuna göre ölçeklenen altyapı.

Elektriksel, optik, darbeli ve termal ölçümler; prob teması, çevresel koşullandırma, veri kaydı ve otomatik raporlama ile aynı sistem içinde yönetilir.

ElektrikselI-V · C-V · Pulsed I-V
OtomasyonSenaryo ve seri test
TermalKlimatik kabin · Thermal Chuck
ÇıktıAygıt bazlı veri ve rapor

Gen2 fotodetektör karakterizasyonu

Klimatik kabinde tam otomatik seri test.

Test senaryosu, cihaz kontrolü, prob teması, veri kaydı ve raporlama aynı otomasyon altyapısında yürütülür.

Kapasite50 aygıt
Sıcaklık−54 °C / +71 °C
Gerilim / akım+200 V · yaklaşık 1 pA çözünürlük
Lazer darbesi1 ns
Klimatik kabin içindeki otomatik fotodetektör test sistemiFotodetektör prob dizisiKarakterizasyon için wafer numunesi
ÇOK YAKINDA

Yeni ürün · Probe Station

Hassas manuel prob istasyonu.

En küçük numunelerden 150 mm alt taşlara kadar hassas elektriksel karakterizasyon için geliştirilmektedir. Mikroskop altında konumlandırılan prob iğneleriyle hassas elektriksel ölçüm yapılmasına olanak sağlar.

Numune kapasitesi150 mm'ye kadar
KonumlandırmaManuel hassas hareket
DurumGeliştirme aşamasında
Geliştirilmekte olan Lithorium manuel probe stationÇOK YAKINDA

Görsel temsilidir.

Thermal Chuck

Probe istasyonları için kontrollü termal platform.

Oda sıcaklığından 120 °C’ye kadar kontrollü ısıtma, yüzey boyunca %1’in altında termal homojenlik ve farklı probe istasyonlarına uygun mekanik entegrasyon.

Probe istasyonuna entegre edilmiş gerçek Thermal Chuck sistemiSola 90 derece döndürülmüş Thermal Chuck termal kamera görüntüsü
120 °CMaksimum sıcaklık
< %1Termal homojenlik
6 inçVakumlu numune tutma
Fonksiyonel kullanımFarklı probe stationlar için özel montaj aparatı