İnce Film Kaplama Sistemleri
İnce film kaplama nano-micro teknolojinin temelidir. İnce film kalınlığı nanometre boyutundan mikrometrelere kadar uzanan çeşitli katman malzemelerine verilen isimdir. Elektronik aygıt üretimi, optik kaplamalar ve fotovoltaik uygulamalar gibi yüzey mühendisliği gerektiren birçok alanda tercih edilen yöntemlerdendir. İnce film teknolojisinde bir çok ince film kaplama yöntemi, buna bağlı olarak bir çok kaplama sistemi bulunmaktadır.
Lithorium Mikroteknolojiler olarak kaplama sistemlerin üretimi ve çeşitlendirilmesi için Ar-Ge çalışmalarımızı sürdürmekteyiz.
-
Döndürerek Kaplama Sistemleri
-
Electroplating Pulse
Döndürerek Kaplama Sistemleri
Döndürerek kaplama düz yüzeyler, alttaş (wafer) gibi malzemelerin yüzeyine uygulanan akışkan malzemenin yüksek hızlarda döndürerek yüzeye ince film oluşması prensibine dayanır.
Döndürerek kaplama (spin coater), malzemeleri doğru ve kontrol edilebilir film kalınlıklarıyla alttaş ya da düz malzeme yüzeyine ince film sermek için yaygın olarak kullanılan ve çok yönlü bir tekniktir.
Elektro Kaplama
Yarı iletken aygıtlar üretilirken elektro kaplama sistemleri oldukça sık kullanılır. Özellikle kalın kontak kaplamalarında nikel ve indium bump kaplama gibi işlemlerde homojen kaplama için darbeli sürücü ile kaplama homojenitesi arttırılmıştır. Sistem içerisinde elektriksel kontaklamaya uygun oringli wafer tutucular ile birlikte optimize edilmiş kaplama tankı tasarımı sunulmuştur.
