Ürün portföyü
Ar-Ge’den üretime, üretimden test ve karakterizasyona.
Standart ürün aileleri ile uygulamaya özel geliştirilen sistemler; teknik bilgiler, model seçenekleri ve ilgili dokümanlarla sunulur.

LIMA
Fotolitografi Sistemleri
4 ve 6 inç yarı otomatik mask aligner platformları.

LSPIN
Spin Coater Sistemleri
Programlanabilir, hassas ince film kaplama sistemleri.

DISPENSER
Otomatik Sıvı Dozajlama
LSPIN ailesiyle bütünleşen iki bağımsız kanallı dispenser.

TEST
Karakterizasyon ve Test
Uygulamaya özel ölçüm, otomasyon ve seri test sistemleri.

MOTION
Özel Optomekanik Sistemler
Standart dışı stage, modül ve hassas konumlandırma çözümleri.