Kompakt platform
LSPIN-04
Parça numunelerden 100 mm’ye kadar altlıklar için masaüstü spin coating sistemi.
Standart chuckØ10–100 mm
Hız aralığı200–12.000 rpm
LSPIN Gen2
Tekrarlanabilir ince film kaplama.
Fotorezist, polimer, sol-gel ve benzeri malzemeler için programlanabilir, hassas hız kontrollü spin coater ailesi.
LSPIN ürün ailesi
İki çalışma alanı, ortak kontrol mimarisi.
Her iki modelde servo kontrollü dönüş, 20 kayıtlı reçete, reçete başına 10 adım ve yıkanabilir kaplama odası sunulur.
Geniş platform
LSPIN-06
Parça numunelerden 150 mm’ye kadar altlıklar için genişletilmiş masaüstü spin coating sistemi.
Standart chuckØ10–150 mm
Hız aralığı200–12.000 rpm
Ayrı ürün sistemi
Otomatik Çift Şırınga Dispenser
Spin coater ile entegre kullanılabilen, aynı zamanda kendi uygulama senaryolarına sahip bağımsız bir sıvı dozajlama sistemidir. İki kanal ayrı ayrı yönetilir; kontrollü enjeksiyon ve geri çekme hareketleri reçeteye bağlanabilir.