LIMA Gen2
Hassas maske hizalama sistemleri.
10 × 10 mm parça numuneden 6 inç wafer’a kadar yarı otomatik hizalama ve homojen UV-LED pozlama.
Kompakt 4 inç platform
LIMA-04
Parça numuneler ve 4 inç wafer’lar için motorlu hizalama, kamera destekli görüntüleme ve elektromekanik WEC sunan yarı otomatik fotolitografi sistemi.
- Mikroskop ve kamera ile hizalama seçenekleri
- Joystick ile yarı otomatik motorize hizalama
- Elektromekanik WEC sistemi
- Farklı mekanik özellikteki altlıklara uygun yapı
Numune aralığı10 × 10 mm - 4 inç
Pozlama alanı120 × 120 mm
Pozlama homojenliği< %3
UV seçenekleriUV300 / UV400
Geniş 6 inç platform
LIMA-06
Akademik ve endüstriyel prosesler için bağımsız hareketli çift mikroskop, dokunmatik kontrol ve geniş pozlama alanı.
- Bağımsız hareket eden çift hizalama mikroskobu
- Joystick ve dokunmatik ekran kontrolü
- Pnömatik WEC sistemi
- Parça numuneden 6 inç wafer’a kadar çalışma
Numune aralığı10 × 10 mm - 6 inç
Pozlama alanı160 × 160 mm
Pozlama homojenliği< %3
UV seçenekleriUV300 / UV400
Proses çıktıları
LIMA ailesiyle üretilmiş mikro yapılardan bazıları.
Pozlama sistemi
Prosesinize uygun temas ve UV seçeneği.
Çözünürlük değeri; fotorezist, film kalınlığı, altlık, maske ve proses koşullarına bağlıdır. Bu nedenle web sayfasında öne çıkan performans ile desteklenen çalışma modları ayrı gösterilmektedir.
Desteklenen kontak modlarıHard · Soft · Vacuum · Proximity
Proximity çalışma aralığı0-200 µm
Öne çıkan çözünürlük - UV300< 1 µm · Hard Contact
Öne çıkan çözünürlük - UV400< 2 µm · Hard Contact
Pozlama kaynağıKompakt UV-LED optik sistem
Ayrıntılı performans tablosuLIMA Gen2 teknik föyü ↗